KS-340高速沉铜工艺
KS- 340高速沉铜溶液为非常稳定的沉铜系统,可用同一种溶液生产出结构致密、延展性好的厚沉铜层和薄沉铜层。该系统药水浓缩程度高、添加量少,工作液比重低、流动性好.
一·工艺特点
1、 操作温度低,溶液稳定性好,沉积速率快;
2、 工作溶液的添加,只用二种补充剂,操作简单;
3、 溶液在孔壁上的沉积速率高于铜表面上的沉积速率。
二·配方及操作条件
项 目 范 围 最佳值
铜浓度 g/L 2.5~3.5 3.0
氢氧化钠 g/L 8.0~12.0 10.0
甲醛 g/L 3.0~4.0 3.5
KS- 340Mu %v/v 6.0
KS- 340A %v/v 3.5
KS- 340B %v/v 3.5
pH 12.8~13.0 12.9
温度
预镀铜 ℃ 55~62
甲醛 10-20ML/L
厚铜 ℃ 45~55
薄铜 ℃ 33~37
溶液负荷 dm2/L 0.5~5 3
沉积速率 沉积2~2.5mm需要20~30分钟
过滤 连续过滤, 10mm孔径聚丙烯低吸附性材料
搅拌 空气搅拌
镀槽 聚丙烯、PVDC、高密度聚乙烯
挂具 聚丙烯、PVDC、316型不锈钢
加热器 聚四氟乙烯、石英加热器